Úvod do aplikácie
Automatizované skladovanie a správa materiálu pri výrobe polovodičov
Týka sa :
1.Uloženie s vysokou hustotou, vysoké využitie priestoru, plné využitie výškového priestoru
2.Rýchly rytmus
3. Integrované do systému riadenia materiálu v dielni
4. Rýchla implementácia, automatický test úrovne výučby
5. Kompatibilné s ARV/OHT/OHS/ručnými a inými automatickými procesmi
6. Vyhovuje čistým priestorom ISO14644-14, SEMI S2 Standard a ESD štandardom
Úvod do funkcie
* Používa sa na polovodičové online ukladanie, podporuje FOUP, CASSETTE, Magazine, Tray a ďalšie
* Môže sa pripojiť k ARV, podporovať manuálne nakladanie a vykladanie
*Vyhovuje čistým priestorom ISO14644-14, SEMI S2 Standard a ESD štandardom
*Štandardné SEMI softvérové rozhranie
* Modulárny dizajn
Blok 4. Č. 358 Jinhu Road, okres Pudong, Šanghaj, Čína